Aufsatz(elektronisch)April 2021

Research status and development trend of MEMS S&A devices: A review

In: Defence Technology, Band 17, Heft 2, S. 450-456

Li, Mei; Hu, Tengjiang

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Sprachen

Englisch

Verlag

Elsevier BV

ISSN: 2214-9147

DOI

10.1016/j.dt.2020.02.014

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