Aufsatz(elektronisch)#1Dezember 2022
Highly sensitive and robust 3C-SiC/Si pressure sensor with stress amplification structure
In: Materials and design, Band 224, S. 111297
ISSN: 1873-4197
1 Ergebnisse
Sortierung:
In: Materials and design, Band 224, S. 111297
ISSN: 1873-4197